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污染，成像精度不高，良品率低，成本昂贵。
更为先进是利用光学投影的扫描投影式光刻机，提高了稳定性和良品率，也大大加大了精度和最�
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更为先进是利用光学投影的扫描投影式光刻机，提高了稳定性和良品率，也大大加大了精度和最�
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